根据长三角物理研究中心（以下简称“本公司”）研发、生产、经营需要，本公司现面向全社会发布“量产型PECVD芯片生产设备”科学家工作室项目（以下简称“项目”）并征集申报，详细信息如下。
一、项目目标及研究内容
项目总体目标是研发8英吋、12英吋PECVD工艺系统，以满足日益严峻的国际垄断局势，及国内中高端设备技术空白。以及创立在本领域具有自主知识产权的量产型PECVD设备。
1、设备性能目标是：
（一）设备稼动率＞ 90%，无故障工作时间＞ 250小时；
（二）沉积温度≥400℃ ;沉积速率优于1700Å / min；
（三）技术成熟度实现TRL6；
2、需要解决的关键技术问题包括：
（一）PECVD机械结构设计：包含载片盒、机械手等，腔体具有多工位且可旋转，要有冷却腔体。
（二）工艺气体喷淋头设计及气场分布研究：涉及表面处理工艺、及流体力学CFD软件仿真模拟研究。
（三）加热基座设计，及温度控制系统研究。
（四）RF电源系统设计，及分布系统研究。
（五）工艺特种气体管道设计，及气场研究。
（六）PECVD工控软件自动化系统研究，要具有实时控制能力。
（七）真空压力控制系统设计。
（八）研究单体及模块的创新设计、并以此建立成本估算模型与降低方法、寿命预测与加速老化测试方法以及多尺度理论模拟与先进分析方法。
以上作为项目结题验收指标，未达到的不能通过结题验收。
二、项目申报要求
（一）项目应由申报单位作为申报主体。申报单位应是在中华人民共和国境内注册、具有独立法人资格的企业或事业单位，具备较强的科研能力和良好的学术诚信记录，无其他资格限 制。
（二）申报单位须指定项目负责人一名，在项目执行期内每年来本公司现场工作时间不少于三个月。项目负责人必须是申报单位正式职工，一般应具有高 级职称。除项目负责人外，其他项目参加人员在项目执行期内应全时在本公司开展研发活动。
（三）申报单位填写《项目计划书》（附件），于2022年2月25日17：30前发送电子版pdf文件至zhangxiaotian@ioply.cn。计划书文件及电子邮件标题应命名为：量产型PECVD芯片生产设备项目计划书——申报单位全称。
（四）项目经评审通过后，申报单位打印计划书纸质版一式三份，签字并加盖公章后邮寄至：江苏省常州市溧阳市中关村大道1号，长三角物理研究中心，科技投资部收。
（五）多个单位可以联合申报，但应指定一家牵头申报单位。同一个单位可以组织多个团队竞争申报。
三、项目周期和支持条件
（一）项目为期三年，自2022年4月1日至2025年3月31日。
（二）本公司提供的项目经费不超过人民币30万元（叁拾万元），由申报单位编制预算，本公司批准后执行，在本公司开支。经费包括以下内容：
设备费：是指在项目实施过程中购置或试制专用仪器设备，对现有仪器设备进行升级改造，以及租赁外单位仪器设备而发生的费用。计算类仪器设备和软件工具可在设备费科目列支。
业务费：是指在项目实施过程中消耗的各种材料、辅助材料等低值易耗品的采购、运输、装卸、整理等费用，发生的测试化验加工、燃料动力、出版/文献/信息传播/知识产权事务、会议/差旅/国际合作交流等费用，以及其他相关支出。
劳务费：是指在项目实施过程中支付给参与项目的研究生、博士后、访问学者和项目聘用的研究人员、科研辅助人员等的劳务性费用，以及支付给临时聘请的咨询专家的费用等。
实验室改造费：是指对本公司提供的实验室基础建设、装修以及根据项目需要进行改造工程的费用。
场地使用费：根据经申报单位申请，本公司审批后提供的实验室和办公室总面积计算，标准为55元/月/平方米。
（三）实验和办公场地，由申报单位书面申请，本公司批复后划拨。实验室、办公室需要再次装修改造的，经本公司批准后，由项目负责人负责在本公司各项管理规定框架内组织实施。
（四）本公司提供日常行政、人事、财务、科研管理等方面的支持。
（五）申报单位项目团队各成员在项目执行期间申报其他科研项目，无论何种资金来源性质，若申报的该等科研项目研究任务与本项目研发目标相关的，项目依托单位应为本公司，获批科研经费应拨付至本公司使用。
四、知识产权和收益分配
（一）申报单位应在计划书中如实、全 面地填写在本项目立项至计划书出具日已经获得的，可能涉及项目研究及其未来产业转化的背景知识产权清单。
（二）本项目框架下新产生的全部知识产权（包括但不限于申请专利的权利、专利申请权、专利权、版权、商业秘密等，下称“前景知识产权”），除本公告第六条另有规定的外，均由本公司和申报单位双方共有。其中本公司占比90%，申报单位占比10%。
（三）基于本项目而形成的任何成果，本公司有权单独决定是否发表论文以及相关成果（包括但不限于知识产权、技术秘密等）的转让、许可、披露、公开、申请登记或注册、将相关技术进行产业化等处置方式等。
（四）申报单位和项目团队成员未经本公司事先书面同意，不得通过任何形式将前景知识产权转让、许可、透露给任何第三方或用于其他与项目内容无关的目的。
（五）申报单位和项目团队成员承诺并保证，在本项目中提供的全部背景知识产权不会侵犯任何第三方的知识产权或其他权益。
五、保密条款
（一）申报单位及项目团队成员应对所获知的项目及本公司的保密信息，包括但不限于背景知识产权、技术信息、经营信息、客户名单、公式、图表、绘图、技术数据，实验报告、设计、材料、设备、样本和其他任何形式的资料或信息及合作项目本身等均承担保密义务。
（二）申报单位必须与涉及该项目的全部人员签订保密合同，保证其对所接触的保密信息承担保密义务，且保密期限不少于本项目结束后或该等人员离职后三年。
六、项目的提前终止和延续
（一）项目团队每半年接受一次本公司组织的考核，被认定有以下情况的，本公司有权单方面终止项目：
1.连续两个季度未完成规定的季度任务目标，或在某一季度严重未完成季度目标的；
2.研究方向和内容严重偏离项目计划书的；
3.由于市场行情、竞争对手等方面发生变化与预期不符，项目产业化盈利前景较差的；
4.发生学术诚信问题或个人经济问题的；
5.多次违反本公司规章制度，屡教不改的。
其中第4、5项属于工作室团队成员个人问题的，也可以仅对个人做退出项目处理并追究法律责任。
（二）由于申报单位政策运行发生变化、项目团队成员个人原因等，无法继续按原计划开展项目，申报单位可向本公司提出书面申请终止项目。
（三）本公司不按约定提供研究经费和场地，拖延超过一个季度的，申报单位可终止项目。
（四）由于出现自然灾害、国家法令变化等不可抗力事件导致项目无法继续的，遇有不可抗力事件的一方，应在10日内将事件情况以书面形式通知对方。如不可抗力无法消除，致使项目无法进行的，则本公司及申报单位均有权终止项目。
（五）项目由于各方均认可的合理因素无法按期完成的，申报单位可在到期前至少2个月向本公司书面申请延期，经批准后延长期限。但延长期间的经费预算应另行申报（如需），经本公司批准后拨付。
（六）项目能够按期较好地完成，且有良好的后续发展前景的，各方可友好协商决定延续项目进行深入开发。
（七）本公司依据本条第（一）款第1、2、4、5项或第（二）款之规定终止项目，申报单位应做出以下补偿之一（采取何种补偿方式由本公司确定）：
（1）在本项目框架下新产生的全部知识产权（包括但不限于申请专利的权利、专利申请权、专利权、版权、商业秘密等）归本公司所有；
（2）支付本公司为项目实际支出的科研经费和相应管理运行成本，其中管理运行成本按照科研经费的20%计算。
（八）申报单位依据本条第（三）款之规定终止项目，本公司放弃主张本项目产出的一切知识产权极其附属权益。
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